Lösungen für extrem hohe Anforderungen

Die Halbleiterproduktion fordert eine hochpräzise und integrierte Stromversorgung. Gewährleistet wird sie durch FuG Netzgeräte. Maßgeschneiderte Lösungen kommen hier ebenso zum Einsatz wie Basis- oder Profi-Serien – beispielsweise im Rahmen der Ionenimplantation, Lithographie und Mikroskopie. Kondensatoren müssen auf Spannungsfestigkeit geprüft und während der Fertigung sowie in bestimmten Intervallen während der Nutzungsperiode formiert werden.

Prozessor, Processor

Anwendungsbereiche

Halbleiterproduktion:

Ionenimplantation:

Mittel- und Hochspannungsnetzteile mit hoher Regeldynamik und gleichzeitig hoher Stabilität. 30 kV – 150 kV, 700 W – 20 kW

Bonding:

Für Hochspannungsnetzgeräte mit niedriger Leistung und spezifischer Ansteuerung und Ausgangsbeschaltung. Bis zu 2 kV, bis zu 1 mA, Kassettennetzteil.

LCD-Tester:

Wir haben oft industrielle Anwendungen mit extrem hohen Anforderungen an die Hochspannungsstabilität. Für die Prüfung von LCD-Bildschirmen während des Herstellungsprozesses werden solche Elektronenmikroskope benötigt. 10 kV – 20 kV, niedriger Strom, hohe Präzision, mit Hilfsspannung.

Lithografie/Mikroskopie:

Auf Halbleitern oder anderen Substraten entstehen kleinste Strukturen im Nanometerbereich. Die Anforderungen sind ähnlich wie bei der Elektronenmikroskopie, aber für die Lithografie muss die Regelung des Elektronenstrahlstroms einen größeren Leistungsbereich abdecken. 20 kV – 70 kV, niedriger Strom (mA), Hilfsspannungsversorgung, sehr hohe Stabilität, geringe Welligkeit.

Leistungshalbleiter:

Bauelemente müssen oft auf Spannungsfestigkeit, Stromführung und Schaltverhalten geprüft werden. Bereich 800V – 20.000V, bis zu 10kW, Hoch/Starkstrompulse bis zu 3000A. Hochstrompulser bis zu 3000A.

Kondensator-Tester/-Formiersysteme:

Kondensatoren müssen auf ihre Spannungsfestigkeit getestet werden und während des Fertigungsprozesses oder bei der späteren Anwendung formiert werden.  Bereich 800V – 20.000V, bis zu 10kW.

Varistor-Tester:

Bauelemente müssen oft auf Spannungsfestigkeit geprüft werden. 800 V – 20.000 V, 7 W – 500 W.