Lösungen für extrem hohe Anforderungen

Die Halbleiterproduktion fordert eine hochpräzise und integrierte Stromversorgung. Gewährleistet wird sie durch FuG Netzgeräte. Maßgeschneiderte Lösungen kommen hier ebenso zum Einsatz wie Basis- oder Profi-Serien – beispielsweise im Rahmen der Ionenimplantation, Litograhphie und Mikroskopie, Kondensator-Testern und Bildungssystemen und bei Leitungshalbleitern, wo Geräte häufig auf ihre Spannungsfestigkeit getestet werden müssen.

Prozessor, Processor

Anwendungsbereiche

Halbleiterproduktion:

Ionenimplantation:

Mittel- und Hochspannungsnetzteile mit hoher Regulierung und gleichzeitig hoher Stabilität. 30 kV – 150 kV, 700 W – 20 kW

Bindung:

für Hochspannungsnetzgeräte mit niedriger Leistung und spezifischer Steuerung und Leistung. Bis zu 2 kV, bis zu 1 mA, Kassettennetzteil.

LCD-Tester:

Wir haben oft industrielle Anwendungen mit extrem hohen Anforderungen an die Hochspannungsstabilität. Für die Prüfung von LCD-Bildschirmen während des Herstellungsprozesses werden solche Elektronenmikroskope benötigt. 10 kV – 20 kV, niedriger Strom, hohe Präzision, mit Hilfsspannung.

Lithografie/Mikroskopie:

Auf Halbleitern oder anderen Substraten entstehen kleinste Strukturen im Nanometerbereich. Die Anforderungen sind ähnlich wie bei der Elektronenmikroskopie, aber für die Lithografie muss die Regelung des Elektronenstrahlstroms einen größeren Leistungsbereich abdecken. 20 kV – 70 kV, niedriger Strom (mA), Hilfsspannungsversorgung, sehr hohe Stabilität, geringe Welligkeit.

Leistungshalbleiter:

Geräte müssen oft auf Spannungsfestigkeit, elektrischen Strom und elektrische Schaltfunktionen geprüft werden. 800 V – 20.000 V, bis zu 10 kW, Hochstrompulser bis zu 3000 A.

Kondensator-Tester/-Bildungssysteme:

Kondensatoren müssen auf Stehspannung geprüft und während des Produktionsprozesses oder während der anschließenden Leistung gebildet werden.

Varistor-Tester:

Geräte müssen oft auf Spannungsfestigkeit geprüft werden. 800 V – 20.000 V, 7 W – 500 W.