Mikroskopie

FuG Elektronik GmbH, Florianstraße 2, 83024 Rosenheim, GERMANY

Mit einem Elektronenmikroskop kann eine deutlich höhere Auflösung (derzeit etwa 0,1 nm) erreicht werden als mit einem Lichtmikroskop. Hochspannungsversorgungen für Elektronenmikroskope bestehen meist aus mehreren miteinander verbundenen (in Reihe oder parallel geschalteten) Spannungsversorgungen kleiner Leistung für die verschiedenen Elektroden zur Steuerung des Elektronenstrahls. Hohe Anforderungen bezüglich der Stabilität und des Zusammenwirkens Spannungsquellen müssen erfüllt werden.

Man unterscheidet Transmissionselektronenmikroskope und Rasterelektronenmikroskope. Da die Auflösung von der Wellenlänge abhängig ist, steigt sie mit der Energie der verwendeten Elektronen und somit mit der Beschleunigungsspannung. Andererseits erhöht sich bei höherer Strahlenergie auch die Eindringtiefe, so daß für Oberflächenuntersuchungen auch die sogenannte "Low Energy Electron Microscopy" LEEM zum Einsatz kommt, bei der die Anforderungen an die Stabilität der Beschleunigungs-, Fokussierungs- und Ablenkspannungen besonders hoch sind.

Prinzip (Sekundärelektronen - Rastermikroskop):

Beispiel:

HCV 252MM - 15000: Hochspannungsversorgung für LEEM

Basispotential:	0 - 15kV, max. 1mA
Objektpotential:	-5V - +2kV
Bombardment:	0 - 1,5kV, 0 - 100mA
Untere Feldstärke:	-2kV - +5kV
Apertur 1:	0 - 10kV, max. 1mA
Apertur 2:	0 - 15kV, max 1 mA
Filament:	0 - 5A, max 10V, Emissionsstromregelung
Spannungsquellen teilweise auf Hochspannungspotential, Stabilitätswerte bis 0,8ppm.

to english version

03.12.07 14:48

Impressum - Legal Notice:

Diese Seite wird betrieben von der FuG Elektronik GmbH, Florianstraße 2, 83024 Rosenheim.
Geschäftsführer: Dr. Hartmut Simon (Vorsitz), Anton Elsasser.
Telefon +49 8031 2851 0
Telefax +49 8031 81099
Registergericht: Traunstein HRB 8638, Umsatzsteuer-Ident-Nr: DE 16 18 91 071.

This page is managed by the FuG Elektronik GmbH, Florianstrasse 2, 83024 Rosenheim (Germany).
Board of Directors: Dr. Hartmut Simon (CEO), Anton Elsasser.
Telephone +49 8031 2851 0
Telefax +49 8031 81099
Commercial court: Traunstein HRB 8638, VAT NR: DE 16 18 91 071.

Mit Anregungen und Hinweisen zu diesen Seiten wenden Sie sich bitte an :
With your suggestions or comments concerning this pages please contact:
webmaster@fug-elektronik.de

Trotz sorgfältiger inhaltlicher Kontrolle übernehmen wir keine Haftung für die Inhalte externer Links. Für den Inhalt der verlinkten Seiten sind ausschließlich deren Betreiber verantwortlich. (siehe auch HAFTUNGSAUSSCHLUß)
In spite of thorough check of the contents we do not take over any liability for the contents of external links. For contents of linked websites are responsible exclusively the persons who running them. (see NON LIABILITY STATEMENT- disclaimer)